يتطلب فحص شرائح أشباه الموصلات متطلبات عالية للغاية من حيث الدقة. هذه المرحلة مصنوعة من سبائك الألومنيوم، والتي تتميز بثبات ممتاز ويمكن أن تقلل من التداخل الخارجي. تعمل المرحلة، التي يتم تشغيلها بواسطة ميكرومتر، على إمكانية تعديل مستوى الميكرون؛ تسمح وظيفة الدوران بزاوية 360 درجة بإجراء فحص شامل للدوائر الموجودة على سطح الشريحة، بينما يمكن للضبط الدقيق بمقدار ±5 درجة تحديد عيوب الشريحة بدقة. وهي تساعد المفتشين في فحص الرقائق المؤهلة، وتضمن جودة منتجات أشباه الموصلات، وتعزز التطوير عالي الجودة لصناعة أشباه الموصلات.